联系人: 李玉真
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仪器型号：JAMP-9510F
生产厂家：日本电子株式会社
主要技术指标：
电子枪：肖特基场发射电子枪
加速电压：0.5–30 kV 连续可调
二次电子图像分辨率：3nm
放大倍率：×25–×500,000，
俄歇电子能量侦测范围：0~2500 eV
俄歇电子能量分辨率：0.05至 0.6%
俄歇空间分辨率：8 nm @ 1 nA, 20 kV
俄歇元素灵敏度（Cu LMM）（0.6%分析器能量分辨率）：≥840 kcps @10 nA，10 kV
俄歇电子探测器：半球形静电分析器（HSA）
样品台：全自动5轴样品台
可执行样品荷电中和、样品表面清洁和深度剖析功能。
主要功能：
表面成分：定性 / 半定量分析 Li–U（除 H、He），微区点 / 线 / 面分布，轻元素灵敏度高。
化学态：通过俄歇峰形判断元素化学环境与键合状态。
深度剖析：氩离子刻蚀 + 俄歇分析，获取元素三维分布与界面成分演变。能进行nm及μm量级深度的剖面分析（深度分辨率1~数nm）
形貌观察：二次电子成像，辅助定位分析区域。
功能特色：
静电半球分析器（HSA）：能量分辨率与灵敏度兼顾，提升轻元素与化学态分析能力。
场发射电子源：束流稳定、束斑极小，实现纳米级微区分析。
荷电中和与表面清洁：适配绝缘样品，可原位清洁与深度剖析。
多模式联用：可与 SEM、EDS、EBSD 等互补，满足综合表征需求。
样品要求：
尺寸：≤φ20 mm×5 mm，与观察面相对的背面必须平整。
状态：干燥、无结晶水、无挥发性 / 腐蚀性 / 剧毒 / 放射性物质，无磁性或已消磁。
导电：优先导电样品，绝缘样品需配合荷电中和；禁止含易挥发镶嵌料。
